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产品中心产品介绍
SSD光照射除电装置 ISX-224
SSD光照射除电装置 ISX-224 产品特点：
- 对于一般大气中晶圆(wafer)等带电电位衰減至1/10,於1S以內的短时间內除电。
- 与瓦斯的流动狀态无关,可获得安定的除电性能。由于被光照射到的空间內广范围地將瓦子化,因此,即使除电对象物附近存在不穩定的气流,也不影响除电性能。
- 平常*不须维护,仅需依软X线管头的耐用期限(8000h)更换即可。
- 由于正负离子及电子平均分布于空间內,因此除电对象物的残留电位可定为0V。
- 由于光直接离子化,因此,在大气压下,在N2、Ar等不活性瓦斯中也可除电。
- 由于是光照射之离子系统,因此,*不发尘,电磁杂讯(noise)也几乎无发生。
- 依高能量光使得空气中的氧气分子也加速离子化,因此,几乎沒有产生臭氧(ozone)。
- 构成本系统的机器,仅有软X线管头及电力装置2項,在制造装置.搬运上易安裝。
产品规格：
型号 | ISXH-224 |
除电方式 | 软X射线照射方式 |
尺寸 | 38×75×100mm（W×H×D） |
光源 | 软X线管 |
消费电力 | 100VA |
冷却方式 | 自然空冷却式 |
材质 | 机体：铝钢板/磨砂 放射口:铍 |
质量 | 约0.4kg |
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